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地方独立行政法人 神奈川県立産業技術総合研究所 海老名本部からのお知らせ
【ナノファブスクエア in 海老名 開催のお知らせ】

  1. ナノファブスクエアin海老名について
     当研究所では、慶應義塾大学、早稲田大学、東京工業大学、東京大学からなる4大学ナノ・マイクロファブリケーションコンソーシアムと、川崎市とで連携し、産学連携による新しい技術や産業の創出を図るため、海老名本部の先端機器による「ナノファブスクエアin海老名」講習・実習会を開催します。
  2. ◆第3回 シリコン酸化
    シリコン表面に酸化膜を形成し、フォトリソグラフィでシリコンマイクロ流路の酸化膜マスクパターンを作製します。Crマスクは電子線描画で作成したものを使用します。

    日   程:10月15日(木) 13:30~16:30
    受 講 料:11,000円
    募集締切:10月8日(木)
    詳細申込:https://www.kistec.jp/learn/sme/newt/nano3/
  3. ◆第4回 ナノパターン形成
     シリコン上のレジストに電子線描画でナノパターンを形成して、レジストパターン(ハーフピッチ200nm)を観察し、電子線描画技術の基本を実習します。

    日   程:10月22日(木) 13:30~16:30
    受 講 料:11,000円
    募集締切:10月15日(木)
    詳細申込:https://www.kistec.jp/learn/sme/newt/nano4/

申込み・問合せ先

(地独)神奈川県立産業技術総合研究所(KISTEC)
 人材育成部 教育研修課 産業人材研修グループ
 TEL:046-236-1500 FAX:046-236-1527
 E-mail:sm_sangyoujinzai@kistec.jp

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